专利项目名称：一种用于浸没式光刻机的浸没液体控制装置
专利买方：浙江启尔机电技术有限公司
专利卖方：浙江大学
id编号：5B6972D7-C8D3-48B0-A83B-C632B1A9D08F
此条信息来源自互联网公开信息，仅用于存档及展示。
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